Dry etching for microelectronics
- Författare
- (Ed. by Ronald A. Powell.)
- Genre
- Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| North-Holland physics publ. | 1984 | Nederländerna, Amsterdam | xi, 299 sidor. | |
| North-Holland Physics Publishing | c1984 | Nederländerna, Amsterdam, Netherlands | 1 online resource (312 sidor.) |